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熱電阻真空計(jì)是一種常用于測(cè)量高真空度的儀器,其工作原理是利用電阻隨溫度變化的特性,通過對(duì)電阻溫度變化的監(jiān)測(cè)來測(cè)量真空度。
一般情況下,熱電阻真空計(jì)通常由電阻導(dǎo)線、絕緣電纜、氬氣、抽氣泵等部分組成。在使用前,需要先通過抽氣泵將被測(cè)物體周圍的氣體排除掉,然后將熱電阻真空計(jì)連接到被測(cè)物體上。隨后,通過加熱熱電阻,監(jiān)測(cè)其電阻隨溫度變化的趨勢(shì),即可獲得被測(cè)物體的真空度。
需要注意的是,熱電阻真空計(jì)在使用過程中需要嚴(yán)格控制加熱溫度和加熱時(shí)間,避免熱電阻損壞,從而影響測(cè)量。此外,使用過程中還需要保證測(cè)量環(huán)境的溫度和濕度等參數(shù)穩(wěn)定,避免干擾測(cè)量結(jié)果。
熱電阻真空計(jì)具有響應(yīng)速度快、靈敏度高、測(cè)量范圍廣、適用于高真空度等優(yōu)點(diǎn)。因此被廣泛應(yīng)用于航空航天、電子工業(yè)、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的真空度測(cè)試。
在航空航天領(lǐng)域,熱電阻真空計(jì)可用于測(cè)試航天器及艙內(nèi)真空度,評(píng)估航天器在高空環(huán)境下的性能表現(xiàn)。在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,可以使用熱電阻真空計(jì)監(jiān)測(cè)制造過程中的高真空度,確保產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和可靠性。
總之,熱電阻真空計(jì)作為一種高的測(cè)量?jī)x器,其應(yīng)用范圍非常廣泛,為現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展與進(jìn)步做出了巨大的貢獻(xiàn)。
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熱電阻是如何測(cè)量溫度的