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真空熱電偶饋通在半導(dǎo)體工業(yè)中的重要作用
發(fā)布日期：2023-06-16 17:34:26瀏覽量：192
真空熱電偶饋通是一種常用于真空體系中做為溫度測(cè)量的儀器，由于其特殊的材料以及結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得其在真空系統(tǒng)中能夠承受高溫，甚至可達(dá)1700°C，這樣的高溫耐受度讓真空熱電偶饋通在半導(dǎo)體工業(yè)中扮演著重要的角色。
在半導(dǎo)體工業(yè)中，真空熱電偶饋通常被應(yīng)用在晶圓生產(chǎn)過(guò)程中的熱源溫度測(cè)量中，晶圓加熱的過(guò)程中需要保證恒定的溫度，真空熱電偶饋通可以準(zhǔn)確地測(cè)量出溫度的變化，讓加熱器加熱的溫度可以地控制在設(shè)定值范圍內(nèi)。
除了晶圓生產(chǎn)過(guò)程中的熱源溫度測(cè)量，真空熱電偶饋通還可以被用于真空管的溫度測(cè)量，這些真空管是半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的部分，而真空熱電偶饋通在真空管的生產(chǎn)過(guò)程中可以準(zhǔn)確地測(cè)量溫度的變化，保證真空管的質(zhì)量。
此外，真空熱電偶饋通也被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中的真空窯和高溫實(shí)驗(yàn)室中，由于其在高溫環(huán)境下的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確的溫度變化測(cè)量，使得其成為半導(dǎo)體工業(yè)中不可或缺的一部分。
