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膨脹法標正熱電偶真空計的原理和應(yīng)用
發(fā)布日期：2023-06-15 17:50:31瀏覽量：226
正熱電偶真空計是一種測量高真空度的重要儀器，其測量原理基于熱電效應(yīng)和氣體熱擴散效應(yīng)。在正熱電偶真空計中，氣體原子或分子在真空中可以表現(xiàn)出粒子特性，即具有直線運動、碰撞散射和自由擴散等特性，從而對正熱電偶產(chǎn)生影響。
膨脹法標定正熱電偶真空計是目前常用的真空標定方法之一。這種方法的基本原理是利用一個恒壓的氣體流，使氣體在真空室中發(fā)生可壓縮性膨脹，從而提供一個確定的氣體壓力，進而通過測量管的電阻值，計算出真空室的壓力值。
具體而言，在進行膨脹法標定正熱電偶真空計時，首先需要準備好一臺質(zhì)量穩(wěn)定、流量連續(xù)可調(diào)的質(zhì)量流量計。將流量調(diào)至恒定值，使氣體流經(jīng)一個可控制出口面積的噴嘴，然后經(jīng)由一根細管進入到正熱電偶真空計的測量管中。
當(dāng)氣體進入測量管后，由于氣體在真空中的熱擴散效應(yīng)，會導(dǎo)致測量管中的氣體膨脹，從而使得電源提供的給熱電偶的電流發(fā)生變化。通過測量熱電阻的電阻值變化，可以計算出氣體在測量管中的實際壓力值。
膨脹法標定正熱電偶真空計的優(yōu)點在于能夠提供高的壓力標定，同時非常適用于大氣壓以下的真空測量。不過需要注意的是，在進行真空標定過程中，各種誤差因素的影響需要得到充分的考慮和消除，才能保證真空測量結(jié)果的準確性。
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熱電偶阻值達到640歐
